半導體
真空電容器是半導體前道設備核心部件之一，應用在刻蝕、薄膜沉積PVD\CVD\ALD、等離子注入、等離子清洗、去膠等設備的射頻電源系統中，用于調節保障射頻能量的動態高效傳輸。
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高精度控制
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可靠性與耐用性
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低損耗特性
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寬溫工作范圍
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靈活的定制選項
